是以集成电路工程工艺和微机械加工技术制作，扩散硅固态压力传感器，有很高的灵敏度，非线度小稳定性好，可长期连续使用等优点，主要用于呼吸压差，空调机呼吸机，也可用于检漏和流量分析。 量程：0-1KPa；3KPa；5KPa；10KPa。
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